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正确使用低温等离子清洗机可有效提高器件的可靠性

更新时间:2023-08-10   点击次数:107次
低温等离子清洗机是一种高科技的清洗设备,主要用于清洗微电子器件、半导体器件、光电器件、精密仪器等高精度设备。它采用低温等离子技术,能够有效地去除器件表面的有机污染物、无机污染物和氧化物等,从而提高器件的可靠性和性能。以下是低温等离子清洗机的使用方法:
 

低温等离子清洗机

 

1、准备工作
 
在使用之前,需要先进行准备工作。首先,需要将清洗室内的杂物清除干净,以免影响清洗效果。其次,需要检查清洗机的电源和气源是否正常,并确认真空度是否达到要求。
 
2、放置待清洗物品
 
将待清洗的物品放置在清洗室内的样品架上,并关闭清洗室的门。注意,待清洗物品的表面应干净无油,否则会影响清洗效果。
 
3、开始清洗
 
将程序设置为所需的清洗参数,例如清洗时间、功率、气体流量等。然后按下启动按钮,该设备开始工作。在清洗过程中,可以通过观察清洗室内的等离子体颜色和清洗室的压力变化来判断清洗的进程。
 
4、停止清洗
 
当清洗时间到达设定值或清洗完成时,设备会自动停止工作。此时可以打开清洗室门,取出已清洗的物品。注意,取出物品后需要等待一段时间,让物品表面的等离子体消失,以免对人体造成伤害。
 
5、维护
 
维护工作包括清洗室内部的清洁和更换易损件。清洗室内部需要定期清洁,以保证清洗效果和延长设备寿命。易损件包括清洗室内的电极和气体流量计等,需要定期更换。
 
综上所述,低温等离子清洗机的使用方法包括准备工作、放置待清洗物品、开始清洗、停止清洗和维护等方面。只有正确使用和维护,才能保证清洗效果和延长设备寿命。
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