等离子清洗仪也叫等离子清洗机，是用一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗仪的常见故障报警及处理说明：
一、真空泵热过载保护
1.出现此情况请首先观察系统参数设置有无变化，突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。
2.如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况。
3.检查导线是否有断路或短路情况。
4.如无上述异常，请检查真空泵。
二、三相供电相序异常
若有相序保护继电器，如出现此类报警，请更换相序。
三、一路供气压力过低
请检查气体是否开启或气体是否耗尽。
四、二路供气压力过低
请检查气体是否开启或气体是否耗尽。
以上为气路控制系统报警，出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题，请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。
五、放空气体压力过低
请检查气体是否开启或气体是否耗尽。如出现此类报警，请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。
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