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等离子清洗仪的常见报警排除解析

发布时间:2022-08-09   点击次数:41次
   等离子清洗仪也叫等离子清洗机,是用一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
  等离子清洗仪的常见故障报警及处理说明:
  一、真空泵热过载保护
  1.出现此情况请首先观察系统参数设置有无变化,突然断电会引起系统参数归零,导致设备出现此类报警。
  2.如系统参数无变化,请确认热继电器是否自动保护,按复位键,然后启动真空发生系统。如没有自动保护,请检查电气线路有无断路或短路情况。
  3.检查导线是否有断路或短路情况。
  4.如无上述异常,请检查真空泵。
  二、三相供电相序异常
  若有相序保护继电器,如出现此类报警,请更换相序。
  三、一路供气压力过低
  请检查气体是否开启或气体是否耗尽。
  四、二路供气压力过低
  请检查气体是否开启或气体是否耗尽。
  以上为气路控制系统报警,出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题,请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。
  五、放空气体压力过低
  请检查气体是否开启或气体是否耗尽。如出现此类报警,请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作,线路有无断路或短路。
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