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常压等离子清洗机的工作气体放电怎么进行的?

发布时间:2022-03-04   点击次数:132次
   常压等离子清洗机也叫等离子清洗仪或等离子表面处理仪,是一种全新科技,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
  常压等离子清洗机工作时的气体放电分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。不同的常压等离子清洗机工作气体放电原理有不同的作用及应用场所。
  大气等离子清洗机通常把在电场作用下气体被击穿而导电的物理现象称之为气体放电。如此产生的电离气体叫做气体放电等离子体。大气等离子清洗机按所加电场的频率不同,气体放电可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流(DC)放电因其简单易行,特别是对于工业大气等离子清洗机装置来说可以施加很大的功率至今仍被采用。低频放电的范围一般是1-100kHz,现在装置常用的频率为40kHz。
  目前,在实验装置和工艺设备中用得多的常压等离子清洗机莫过于高频放电装置,其频率范围为10-100MHz。由于这属于无线电波频谱范围,故又称为射频放电(Radio frequencydischarge),简称RF放电,常用的频率为13.56MHz。当所用大气等离子清洗机的电场频率超过1GHz时,属于微波放电(Microwave discharge),简称为MW放电。常用的微波放电频率为2450MHz。
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