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高校实验室等离子表面处理机的应用有哪些?

发布时间:2021-09-06   点击次数:35次

01-高校实验室等离子表面处理机主要用于以下实验:

  1、材料清洁和活化

  2、等离子涂镀聚合

  3、有机物去除

  4、键合

  5、等离子去胶

  6、金属还原

  7、表面刻蚀

  8、材料老化实验

  9、改变亲水性/疏水性 

  10、灰化表面有机层 

  当然,【金铂利莱】科技专注等离子表面处理方案,设备可以根据用途的不同,可选用多种构造进行特殊化定制。通过选用不用种类的气体,调整装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56MHz的无线电波。

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02-高校实验室等离子表面处理机的运行过程如下:

(1) 将需要处理的样品放入真空室并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。

(2) 向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在10pa以内。根据清洗材质的不用,可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。

(3) 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件,开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。

(4) 清洗完毕后切断高频电压,并将气体及汽化的污垢排出,同时向真空室内鼓入气体,并使气压升至一个大气压.


03-什么是等离子体?

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在。等离子表面处理机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用,涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域

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04-高校实验室等离子表面处理机技术规格参数:

   》腔体材料:不锈钢/石英舱体

   》工作气路:两路,可以选配MFC控制

   》射频频率:40KHz

   》射频功率:0-200W/300W可选,可调

   》控制系统:按钮+单排LED显示,实时显示和检测舱内真空度值

   》时间范围:0—99分59秒连续可调

   》工作压力:样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节

   》工作气体:空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可

   》进气压力:空气:常压     

   》连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa

   》工作模式:手动模式和程序化自动模式

   》真空泵:抽速:1升到5升每秒

   》输入电源:~220V/50Hz


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