技术文章您现在的位置:首页 > 技术文章 > 真空等离子清洗机为什么要真空的呢?看完你就明白了

真空等离子清洗机为什么要真空的呢?看完你就明白了

发布时间:2020-12-29   点击次数:26次

    真空等离子清洗机是一种依靠等离子体激活物质去除表面污渍的清洗设备。它属于电子工业的干洗,在真空泵制造过程中制造一定的真空条件以满足清洗的需要,等离子体的清洗需要主要通过特定的气体分子在真空、放电等特殊场合,如低压气体辉光等。简单地说,真空等离子清洗机需要在真空中进行(通常大约100pa),因此需要真空泵。

    真空等离子清洗机主要工艺包括:首先将工件固定在真空室内,将真空泵等设备启动真空放电至10pa左右;然后将等离子体清洗气体引入真空室(根据氧、氢、氩、氮等不同清洗材料),并保持压力在100pa左右;在真空室内的电极和接地装置之间加入高频电压,使气体被渗透,等离子体被辉光放电离化;在等离子体完全覆盖在真空室内后开始清洗操作,清洗过程将持续几十秒至几分钟。整个过程就是依靠等离子体在电磁场中移动,轰击被处理物体的表面,大多数物理清洗过程需要高能量和低压力。

    原子和离子的大速度是在表面被轰击之前实现的。因为它会加快等离子体的速度,它需要高能量,这样等离子体中的原子和离子就能更快。低压是增加原子碰撞前的平均距离所必需的,即平均自由距离、路径越长,离子轰击待清洁物质表面的概率越高。因此,实现了表面处理、清洗和刻蚀的效果(清洗过程在一定程度上是一个轻微的刻蚀过程);清洗后,污垢和气体排放,空气回到正常的大气压力。

    在清洗过程中,当真空泵控制真空室时,气体的流量决定了真空室的发光颜色:如果颜色重,真空度低,气体流量大;如果真空度过高,气体流量过小,则根据所需的处理效果确定真空泵的真空度。

    真空等离子清洗机作为一种精密干洗设备,适用于混合集成电路、单片集成电路套管和陶瓷基板的清洗,可用于半导体、厚膜电路、封装前元件、硅蚀刻、真空电子、连接器和继电器的清洗。它还可用于塑料、橡胶、金属和陶瓷的表面活化以及科学实验。
在线咨询
电话咨询 400 865 8966
在线客服